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Silizium

Hightech für die Solarindustrie

SiliziumBei der Herstellung von Silizium nach dem Siemens-Verfahren wird hochreines Trichlorsilan in Anwesenheit von Wasserstoff bei 1000 bis 1200°C thermisch zersetzt und lagert sich an beheizten Reinstsiliziumstäben an. In enger Zusammenarbeit mit einem Anlagenbauer wurde für dieses Verfahren ein Labor-CVD-Reaktor entwickelt für den wir die Leistungselektronik und die Steuerung liefern. Dieser Reaktor wird für die Sicherung eines kontaminierungsfreien Prozesses in der Polysiliziumproduktion benötigt.

Die Bedienung des Reaktors erfolgt über unser komfortables Batchsystem, das dem Kunden erlaubt die Prozessparameter sehr flexibel einzustellen. Eine kontinuierliche Messwertaufzeichnung und die Protokollierung der einzelnen Batchschritte ermöglichen die lückenlose Auswertung der Abscheidefahrt.

Merkmale / Leistungen

  • Fehlersichere Steuerung
  • Explosionsgeschützte Anlage
  • Inbetriebnahme (weltweit)
  • Begleitung der TÜV-Abnahme
  • Kleinserienfertigung
  • Kontinuierliche Weiterentwicklung

zukunftsorientierte Technologien

brauchen ein hohes Maß an Sicherheit. Lassen Sie sich von uns über die Möglichkeiten informieren.